AES(Auger電子能譜)

AES(Auger電子能譜)是一種利用高能量電子束作為激發源的高靈敏度表面分析技術。由電子束激發產生的能量，剛好能滿足原子外圍電子的束縛能，使電子恰能脫離，產生＂Auger＂電子。發射Auger電子所需的動能主要是由樣品表面5-10nm範圍內的元素所決定。

電子束可以掃描一個可變尺寸的區域，或是直接聚焦在感興趣的小面積區域。可將電子束聚焦在直徑為10-20nm區域的能力，使得Auger成為在分析小面積的樣品表面元素特性是非常有用的工具。與離子濺射源結合使用時，Auger就可以分析樣品表面組成的深度分布。

EAG在處理常規和特殊要求的Auger分析方面積累了多年的經驗，也已經將Auger應用到許多行業研究之中。

EAG豐富的Auger專業技術具有直接的分析效益，不論是在分析~μm粒子來確定晶片處理設備的污染源，還是分析電子設備的缺陷來調查故障的根本原因。此外，Auger在冶金研究方面也具有廣泛的應用，包括測量電解拋光醫療器械的氧化層厚度，EAG會繼續發揮其經驗優勢，為我們的客戶幫助解決各種問題。