LEXES(低能量X-射線發射光譜)

LEXES（低能量X-射線發射光譜）是將低能量電子束用作為激發源的一種近表面分析技術。藉由低能量的電子束激發樣品原子，以偵測從樣品發射的特性X–射線。和EDS類似，LEXES可以分析發射X-射線的能量，得到樣品近表面區域的元素特性。使用波長色散光譜儀（WDS）可以增加靈敏度和提高能量分辨率，並且除去大部分干擾。

LEXES可以非常嚴格的控制電子束電流，允許非常高精度的測量。通過測量可以得到摻雜濃度、膜的組成與膜的厚度，並可以比較晶圓與晶圓之間的1%或更好的精確度差異，使用參考標準品可以得到小於5%的準確度差異。調整入射電子束的能量可以量測薄10Å或厚為1μm的樣品分析。最後，LEXES可以集中電子束到一個小面積區域小至10μm，進行分析。

主要應用

• 摻雜劑劑量、薄膜組成、厚度和雜質的高精確度測定和全晶片映射