FIB(聚焦離子束)

FIB（聚焦離子束）儀器使用聚焦良好的離子束對感興趣的樣品作修改與取得圖像。FIB主要是在通過SEM、STEM和TEM成像後，取得非常精確的樣品橫截面或是執行電路修改。此外，FIB可以偵測來自離子束或電子束的發射電子，用於直接成像。FIB的對比度機制與SEM和S/TEM有所不同，因此在某些情況下就可以獲得獨特的結構資訊。Dual Beam是將FIB/SEM兩種技術結合成一個工具，利用FIB準備樣品並且使用SEM、TEM或STEM儀器得到電子影像， 而Single Beam的FIB是只有一個離子束源。

樣品製備

FIB是一種樣品製備工具，可以準確地製造出樣品的橫截面：

• FIB為TEM樣品提供革命化的樣品製備方法，可以辨別~μm等級的特點以及精確地製作橫截面
• FIB製備樣品被廣泛使用在SEM，其中FIB製樣，SEM成像和元素分析可以發生在同一個多技術的機台中
• 在AES中也可以使用FIB製備樣品，能快速而精確地提供進表面的元素鑑別
• 當樣品為小面積且難以獲取時FIB是理想工具，這種情況常出現在半導體行業以及需對表面下顆粒做鑑別
• 對於很難獲得橫截面的產品來說，FIB是很好的選擇，例如很難拋光的軟性聚合物

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