NRA(核反應分析)

NRA（核反應分析）用於測定薄膜中的低原子量元素（例如C、N、O、B）。在NRA分析過程中，初級入射粒子誘發薄膜中低原子量原子核的核反應，以及噴射出特定核反應中帶有特定動能的粒子（即特定的元素）。

NRA可以用於定量薄膜中B, C, N和 O的總濃度。相較於RBS，NRA可以在較低濃度範圍內測量這些元素。通過結合使用RBS和NRA，就可以定量薄膜中輕元素的濃度。

只有為數不多的實驗室可以提供商業化的NRA，或者與EAG廣泛而深刻的經驗相媲美，可以實現快速的分析時間、準確數據和個人服務。