TEM/STEM(穿透式電子顯微鏡/掃描穿透式電子顯微鏡)

TEM/STEM（穿透式電子顯微鏡/掃描穿透式電子顯微鏡）是密切相關的技術，主要是使用電子束讓樣品成像。使用高能量電子束，讓超薄樣品的圖像分辨率可以達到1-2Å的解析度。和SEM相比，TEM和STEM具有更好的空間解析度，並且能夠作額外的分析測量，但需要更多的樣品製備。

儘管與其他常用的分析工具相比，需要花費更多分析時間，但是通過TEM和STEM可以獲得更豐富的資訊。不僅可以獲得出色的圖像解析度，也可以得到晶體結構特性、結晶取向（通過繞射實驗）、產生元素圖（使用EDS或EELS），並且得到明顯的元素對比圖（暗場模式），這些方式都可在精確地定位到奈米等級的區域來進行分析。TEM和STEM是薄膜和積體電路樣品的故障分析工具。

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