- 航太工業
- 汽車
- 生物醫學/生物技術
- 化合物半導體
- 資料存儲
- 國防
- 顯示器
- 電子領域
- 工業產品
- 照明設備
- 製藥
- 太陽能
- 聚合物
- 半導體
- 光電行業
- 電信
AFM/SPM(原子力顯微鏡)
AFM(原子力顯微鏡)，提供原子或近原子解析度的表面形貌圖像，能夠定量樣品的表面粗糙度到＂Å＂等級。除了提供表面圖像之外，AFM也可以提供形態的定量測量，如高度差和其他尺寸。另外，磁力顯微鏡（MFM）是AFM一種應用，能夠繪製樣品的磁域圖。
AFM分析方法應用的案例包括：
- 評估晶片處理前後的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)
- 確定生物醫學設備的處理效果(例如電漿處理)，如隱形眼鏡、導管和塗層支架
- 檢查表面粗糙度對附著力的影響
- 評估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度
- 檢查形態是否是表面陰霾的來源
產業應用
技術限制
- 掃描範圍限制：橫向100µm （x,y），垂直5µm（z）
- 對極其粗糙和形狀怪異的樣品在分析上有困難
- 探針好壞可能會造成誤差
優點
- 可定量表面粗糙度
- 全晶圓分析(最大300mm)
- 高空間解析度
- 導體或絕緣體皆可成像
分析規格
偵測訊號： 樣品表面形態
垂直解析度：0.1Å
影像/mapping：是
橫向解析度/Probe 大小： 15-50Å
應用範圍
- 提供三維表面形態影像，包括表面粗糙度、粒徑大小、高度差和間距
- 其他樣品特性的成像，包括磁場、電容、摩擦力和相位